有了新的過濾媒質(zhì)、技�(shù)和氣流設(shè)計辦�,用戶可以在重要的環(huán)境中,在越來越嚴(yán)格的空氣�(zhì)量要求下,提高過濾效�,有效地控制成本�
過去,如果潔凈室�(huán)境維�(hù)人員要保證工廠里的空氣達(dá)到或超過可接受的潔凈水平,他們的做法就是提高過濾器的過濾效率和增加室�(nèi)換氣量。然�,空氣質(zhì)量標(biāo)�(zhǔn)和實�(wù)審查�(jié)果卻表明,過高要求過濾器性能或空氣流量是不可取的,因為它�(yuǎn)�(yuǎn)超出高性能潔凈室運行所需要的水準(zhǔn)�
到目前為止,空氣處理和調(diào)節(jié)在潔凈室的運行成本中占的比例最�。研究人員發(fā)�(xiàn)高達(dá)40%的潔凈室運行成本和最初投入成本與單位小時的室�(nèi)換氣量有�(guān)�10~30%的費用用于送風(fēng),目的是增加空氣在潔凈室中的“清掃”作��
對過濾器來說,過濾效率越�,捕獲粒子就越多,空氣過濾器耗能也就越高。這充分說明了過濾器壓降與粒子清掃效率之間的關(guān)�。最理想的辦法是一方面保持或提高過濾器材料的過濾效�,另一方面減小空氣流動的阻力并降低施加在過濾器上的壓降,從而節(jié)約運行成本�
在許多應(yīng)用中,過濾器廠商被迫不斷提高過濾效率,使其遠(yuǎn)�(yuǎn)超出合理水平。同�,越來越多的最終用戶開始關(guān)注與運行空氣凈化系統(tǒng)有關(guān)的電力成�。所�,找到過濾效率與成本之間的平衡點是當(dāng)�(wù)之急�
1. 重新評審已有的行�(yè)�(biāo)�(zhǔn)和監(jiān)管標(biāo)�(zhǔn)
主要針對流量和換氣量。關(guān)鍵問題是:標(biāo)�(zhǔn)要求端末HEPA過濾器以90FPM的速度運行或�(jìn)行測試是毫無技�(shù)支持的,甚至有害。因為室�(nèi)平均流速太高會造成紊流并形成渦�,所以在半導(dǎo)體行�(yè)中的ISO1級或2級潔凈室基本都使�75FPM的流�。使?jié)崈羰一蜻^濾器流速保持在90FPM不僅會引起嚴(yán)重的紊流,還會使污染物揚起、散布在整個清潔室中的可能性提��
實際�,過濾速度較低的過濾器的表�(xiàn)要強(qiáng)于速度較高的,過濾器的沿面流速與潔凈室的性能無關(guān)。真正重要的是室�(nèi)的微粒濃度和通過空氣傳播的生物負(fù)荷水平在運行過程中保持不變�
另外,設(shè)計出可以�(dá)到“適�(dāng)”流速和換氣率的系統(tǒng)非常重要。一開始在過濾器上投入比較高成本和長期的電力運行成本同樣重要。許多潔凈室在建造時根本沒考慮到可能需要更多的電力和因此增加的�(chǎn)品生�(chǎn)成本。一味增加過濾器�(shù)量的后果就是你不得不考慮利潤空間是否能夠支撐越來越高的初始成本和更高的運行成��
2.小型化趨�
隨著�(jìn)入納米技�(shù)生產(chǎn)階段,生�(chǎn)空間和生�(chǎn)�(shè)備的尺寸越做越小,需要保持清潔的空間也更小更干凈。故可通過各種方法來增加靈活性和節(jié)約成本�
許多公司一方面希望得到更有效的潔凈�,另一方面也在積極尋找通過降低功耗來削減運行成本的方�。而正確設(shè)計空氣流�、減少清潔區(qū)域需要的清潔空氣總量,是降低最初成本和運行成本的有效方法。隨著HEPA和ULPA的過濾效率不斷提�,用戶對過濾效率的要求卻在下�?,F(xiàn)如今的用戶更注重分析在潔凈室中不同區(qū)域內(nèi)實際需要的過濾水平。一個重要的趨勢就是不再使用大空間潔�,取而代之的是在工廠中設(shè)置清潔區(qū)域,保證潔凈區(qū)域內(nèi)保持空氣�(zhì)量達(dá)到優(yōu)良水�。使用這種方法降低了需要過濾的空氣總量,也就降低了運行成本�
此外,設(shè)備和過濾器廠商正在努力研制性能更強(qiáng)、更省電而且體積更小的送風(fēng)�(jī)。氣流通過過濾器�(jìn)入房間時形成壓降,這必須靠送風(fēng)�(jī)和空氣調(diào)節(jié)�(shè)備來恢復(fù)。只要稍微降低壓降就可減少一部分電費開支,特別是用于�(fēng)�(jī)的電費開�,而這正是大部分潔凈室運營商的主要支��
在選擇過濾器時應(yīng)�(yōu)先選擇滿足過濾效率要求和壓降最小的過濾器。在衡量過濾器的價格和性能時,效率和壓降是�(guān)�。其它因素決定整個HEPA和ULPA過濾器的采集效率。其中包括空氣過濾、速度、微粒牲和過濾器媒質(zhì)特征??偟恼f�,采集效率會隨著過濾速度的降低和微粒尺寸的增大而提�。此外,采集效率會隨著過濾器的灰塊的百度和密度的增加而提高�
3. 延長過濾器壽�
從多方面來講,延長過濾器的壽命都是人們考慮的重�。靜電充電是�(xiàn)在過濾器媒質(zhì)使用的一種技�(shù),它可以提高微粒過濾器的容量和壽�。它的優(yōu)勢在于可以在特定的產(chǎn)品中在HEPA過濾器上�(jìn)行靜電充�,通過一些顯著的、可以統(tǒng)計數(shù)量的辦法來降低成本、增�(qiáng)性能,而過濾器廠商除了增強(qiáng)性能成本之外還需要提供關(guān)于實際運行成本的�(shù)�(jù)。目前市場上有許多靜電過濾器系統(tǒng),它們采用柵格而不是直接攔截的辦法通過過濾器媒�(zhì)來捕獲空氣微粒,但在潔凈室行�(yè)�,由于開放柵格技�(shù)的緣故,它們主要還只是作預(yù)過濾器系�(tǒng)使用。還可以使用更加有效的空氣預(yù)過濾技�(shù)來充分發(fā)揮它的作用,這既不會增加空氣靜壓,也不會增加電費支出,也就是說靜電作用不會顯著增加電費上的開��
不僅含塵量增�,不斷完善的靜電沉積技�(shù)還能延長過濾器壽命并且減少過濾器維護(hù)。這是一個重要的收獲,特別是對制�、醫(yī)療設(shè)備和其它受管制的公司來說,只要HEPA過濾器的荷載量和氣流限制在他們的運行�(biāo)�(zhǔn)之下,他們就不用更換HEPA過濾器。因為更換過濾器不僅會增加成�,而且會中斷生�(chǎn),需要預(yù)先安排好停工時間,�(jìn)行重新清潔、重新認(rèn)證和重新確認(rèn)�
在過濾器媒質(zhì)、過濾器組裝�、空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)甚至包括全套潔凈室等供應(yīng)商多方共同努力下,過濾技�(shù)和設(shè)計取得許多新的�(jìn)�。近幾年技�(shù)和設(shè)計的�(jìn)步主要體�(xiàn)在提供有效的“適�(dāng)”的空氣管理辦法,以適應(yīng)不斷上升的能源價格和更嚴(yán)格的空氣�(zhì)量標(biāo)�(zhǔn)。續(xù)編的潔凈室經(jīng)營者和其它制造領(lǐng)域充分認(rèn)識到使用知覺的空氣過濾就可以�(dá)到盈利的要求�
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