2025年6月13日，合肥欣奕華智能機器股份有限公司（以下簡稱“欣奕華智”）宣布，其首臺Micro LED激光巨量轉移設備正式下線交付客戶。該設備的成功開發與交付，標志著欣奕華智在新型顯示技術領域取得了重大突破，將有力推動Micro LED產業的發展。
Micro LED作為新一代顯示技術，具有高亮度、高對比度、高刷新率等優點，被廣泛應用于電視、顯示器、虛擬現實等領域。而激光巨量轉移設備作為Micro LED制程中的關鍵設備之一，對于實現Micro LED的大規模量產至關重要。欣奕華智此次交付的Micro LED激光巨量轉移設備，采用了多項自主研發的核心技術，具備多項行業領先優勢。設備搭載超高精度運動平臺，可實現精密自動對位和芯片高效巨量轉移，芯片轉移綜合精度控制在1.5μm以內，確保了芯片轉移的準確性和穩定性。同時，自主設計的光路系統，實現了光斑高均勻性和穩定性，為芯片轉移提供了可靠的光學保障。此外，設備還具備晶圓姿態檢測及校正功能、光斑位置自校正功能，進一步提升了設備穩定性和生產效率。
在兼容性方面，該設備最大支持G2.5代（370mmX470mm）基板，可滿足不同客戶的多樣化需求。搭配欣奕華智自研的Micro LED準分子激光剝離設備、DPSS固體激光剝離設備，能夠為客戶提供一站式的Micro LED制程解決方案，助力客戶降低生產成本，提高生產效率。
此次首臺Micro LED激光巨量轉移設備的交付，不僅彰顯了欣奕華智自成立以來在新型顯示領域不斷積累的技術研發和創新實力，更為公司未來發展奠定了堅實基礎。隨著Micro LED技術的日益成熟和應用場景的持續拓展，欣奕華智的Micro LED 激光巨量轉移設備有望在市場中獲得廣泛應用。欣奕華智也將繼續深耕技術創新，優化產品性能，進一步提升市場競爭力，致力于為我國新型顯示產業在全球競爭中贏得優勢，為推動行業高質量發展貢獻力量，向著科技強國的目標穩步邁進。
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