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�(yīng) Micro-LED �(chǎn)�(yè)化,�(kāi)�(fā)下一� MOCVD

編輯:chinafpd 2023-10-17 16:28:07 瀏覽�4324  �(lái)源:

  在加� Micro-LED 技�(shù)商用化過(guò)程中 ,MOCVD 扮演著重要角色。作為國(guó)�(nèi) MOCVD �(shè)備重要廠商,中微半導(dǎo)體一直致力于研發(fā)外延片等方面的技�(shù),旨在推�(dòng) MicroLED 的大�(guī)模商�(yè)化應(yīng)用。在本屆中國(guó)�(guó)� Mini/MicroLED �(chǎn)�(yè)技�(shù)峰會(huì)上,中微半導(dǎo)體設(shè)� ( 上海 ) 有限公司 MOCVD 高級(jí)工藝總監(jiān)胡建正以“中微 MOCVD 技�(shù),助力Mini/Micro-LED �(chǎn)�(yè)快速發(fā)�”為主題,特別分享了中微半�(dǎo)體在推動(dòng) Micro-LED �(chǎn)�(yè)化應(yīng)用上所�(jìn)� MOCVD �(kāi)�(fā)新�(jìn)展�

  �(guò)去十多年,LED 技�(shù)受益于半�(dǎo)體照明為主的�(chǎn)�(yè)需求驅(qū)�(dòng),取得了蓬勃�(fā)展。而最近幾年,在新型顯示應(yīng)用的推動(dòng)下,Mini/Micro-LED 也取得了諸多技�(shù)�(jìn)展。胡建正表示�“Mini-LED 小到幾十�(gè)微米,Micro-LED 更是小到只有幾�(gè)微米。表面上看是芯片縮微化的�(jiǎn)單變化,其實(shí)涉及到的是整�(gè)�(chǎn)�(yè)鏈各�(gè)�(huán)節(jié)的升�(jí)迭代�”

  �(shí)際上,Mini-LED � Micro-LED �(fā)展,也涉及到從外延、芯片、封裝以及應(yīng)用等各�(gè)�(huán)節(jié)都需要升�(jí)換代。胡建正介紹,對(duì)� Mini-LED 而言,原有的技�(shù)大部分經(jīng)�(guò)升級(jí)就可以滿(mǎn)足要求,唯獨(dú)波長(zhǎng)性需要大幅提升�

  整體�(lái)看,影響 LED 的波�(zhǎng)均勻性主要有七大�(guān)鍵因素。其中,LED 波長(zhǎng)均勻性最敏感的因素就是溫度。胡建正表示�“作為 MOCVD �(shè)備供�(yīng)商,中微半導(dǎo)體在�(shè)�(jì)�(guò)程中充分考慮加熱器的�(shè)�(jì),另外在生長(zhǎng)�(guò)程中�(jìn)行晶圓托�(pán)的設(shè)�(jì),目前高速旋�(zhuǎn)系統(tǒng)還會(huì)有迎�(fēng)和背�(fēng)的影響,最終都�(huì)體現(xiàn)在波�(zhǎng)的分布上。因此,�(yōu)化設(shè)�(jì)也很重要�”

  他也指出�“LED 外延生長(zhǎng)�(guò)程中的應(yīng)力導(dǎo)致的翹曲需要配合片槽的�(shè)�(jì)加以解決,同�(shí)需要一�(gè)很好的生�(zhǎng)氣流確保材料厚度有很好的均勻性。再就是需要管控石墨盤(pán)和襯底的尺寸�(zhǔn)確性和不同批次之間的重�(fù)性。另外,人為操作也需要很好的管控,確保產(chǎn)出的良率�”

  針對(duì) Mini-LED 市場(chǎng)�(yīng)用,中微半導(dǎo)體開(kāi)�(fā)� PrismoUnimax �(shè)備,可以有效�(diào)整外延生�(zhǎng)方向的厚度均勻性, 相關(guān)的優(yōu)化設(shè)�(jì)也可以有效抑制生�(zhǎng)�(guò)程中顆粒物沉積到wafer 上。同�(shí),中微半�(dǎo)體還采用了自主開(kāi)�(fā)的基于模型的溫度控制系統(tǒng),可以有效保證溫度控制的精準(zhǔn)性�

  “這款�(shè)備采用了�(dú)�(chuàng)的加熱器和輔助加熱器相配合的�(shè)�(jì),在接近 800 毫米石墨�(pán)的生�(zhǎng)方向上,溫度可以得到精確的調(diào)整,從而滿(mǎn)足波�(zhǎng)一致性的需求�” 胡建正表示,“我�?cè)?Prismo Unimax 上�(jìn)行了 4 英寸� 6 英寸的藍(lán)� LED 的外延生�(zhǎng),其�(lán)� LED 片內(nèi)和片間的波長(zhǎng)均勻性都可以做到小于 1 �(gè)納米。可以說(shuō),我們的 Mini-LED量產(chǎn)技�(shù)在世界上是處于領(lǐng)先地位的�”

  不過(guò),胡建正也介紹,目前 Mini-LED 主要�(yīng)用還是作� LCD 的背光,其利用效率只� 5% � 10%,不符合�(chǎn)�(yè)�(fā)展趨�(shì),未�(lái)一定會(huì)�(guò)渡到主動(dòng)�(fā)光應(yīng)用,� Micro LED 就是備受期待的下一代的顯示技�(shù)�

  為了�(mǎn)� Micro-LED �(chǎn)�(yè)化需求,中微半導(dǎo)體作為設(shè)備供�(yīng)商也做出了諸多方面的努力。胡建正介紹,Micro LED 首先要解決的就是波長(zhǎng)的均勻性,但其� Mini-LED的技�(shù)要求要高很多。目前中微半�(dǎo)體也在基� Prismo Unimax 平臺(tái),開(kāi)�(fā)�(yīng)用于 Micro-LED 技�(shù)� MOCVD 工藝�(shè)備,在提升技�(shù)良率的同�(shí),�(jìn)一步降� Micro-LED 成本�

  目前,中微半�(dǎo)體是科技� 2021 年度“高性能制造技�(shù)與重大裝�”�“Micro-LED 用新� MOCVD 技�(shù)”�(xiàng)目的牽頭承擔(dān)單位�

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