記�1�16日從中國科學院重慶綠色智能技術研究院獲悉，該院成功研制了用于微電子光刻的“2-12英寸UVLED平行光曝光模�”及用于PCB、液晶面板和觸摸屏等光刻裝備�“5KW�8KW�10KW汞燈替代UVLED光源模組”系列產品�
據中國科學院重慶綠色智能技術研究院相關項目負責人介�，光刻機是液晶面板制造裝備中投資份額最大的關鍵裝備，其關鍵技術始終受制于國外企業，限制了行業發展。為打破液晶面板行業光刻裝備國外壟斷的局�，針對電子信息領域對技術先進、節能環保的低成本曝光裝備需�，中科院重慶研究院開展了基于UVLED光源的新型曝光模組研�，突破了LED/LD光學擴展量求解與束角變換理論、LED多自由曲面精確配光技�、紫外波段自由曲面無機光學組件批量化制造技�、光機電系統集成等多項關鍵技術，成功研制了用于微電子光刻�“2-12英寸UVLED平行光曝光模�”及用于PCB、液晶面板和觸摸屏等光刻裝備�“5KW�8KW�10KW汞燈替代UVLED光源模組”系列產品，產品強度、均勻度等多項關鍵指標均優于國外原廠配置，并可滿�2um級線條的制作，產品技術達到國際領先水�。目�，研發團隊已與重慶方正、深南電路等大型企業達成合作協議，配合企業完成光刻裝備的升級改�，市場上該類光刻裝備超過5萬臺，產值將�50億元以上�
據悉，我國加入了《水俁公約��2020年之前禁止進出口和生產含汞類的商品�“液晶面板低成本光刻工藝與裝備開發及應�”項目研發的UVLED光源模組為大勢所趨，采用高效節能環保的UVLED陣列作為曝光光源，通過自由曲面精確配光與復眼勻光方�，實現大面積高強度均勻曝�，滿足現有光刻機汞燈光源的升級改造需求。單從電費計�，每臺UVLED設備每年可為企業節省約8萬元的使用成�，若目前市場�5萬臺汞燈光刻裝備全部升級改�，每年可節約用電成�40億元。上述產品已申報專利15�，其中已授權發明專利2��
針對目前的機遇與挑戰，在“重慶市液晶面板產業共性關鍵技術創新主題專�”的大力支持，重慶院同重慶京東方光電科技有限公司及重慶郵電大學合�，計劃將紫外LED光源系統引入到液晶面板光刻裝備中，以“增強液晶面板相關企業的盈利能力和競爭�，促進重慶液晶面板行業的長久發展”為目�，著力開發用于液晶面板制造的低成本光刻工藝與裝備�
來源：華龍網
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