臺(tái)灣工研院與日基板廠合作開(kāi)發(fā)IGZO
摘要:臺(tái)灣工研院今天宣布,與日本基板大廠KANEKA合作開(kāi)發(fā)出半導(dǎo)體氧化物晶體管陣列技術(shù)(IGZO),這項(xiàng)技術(shù)已獲選為第19屆全球顯示技術(shù)研討會(huì)(IDW)論文。 臺(tái)灣工研院表示,傳統(tǒng)晶體管是在380度高溫制程中,在硅晶圓或玻璃等堅(jiān)固材質(zhì)上,利用濺鍍、光蝕刻、蒸鍍等
閱讀:9362012年12月04日 11:15:04