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臺灣工研院與日基板廠合作開發IGZO

編輯:hattie 2012-12-04 11:15:04 瀏覽:936  來源:中央社

  臺灣工研院今天宣布,與日本基板大廠KANEKA合作開發出半導體氧化物晶體管陣列技術(IGZO),這項技術已獲選為第19屆全球顯示技術研討會(IDW)論文。

  臺灣工研院表示,傳統晶體管是在380度高溫制程中,在硅晶圓或玻璃等堅固材質上,利用濺鍍、光蝕刻、蒸鍍等半導體制程,在硅晶圓上制作出極小的微結構。

  臺灣工研院開發出的IGZO TFT陣列技術,使用塑膠基板及低溫200度以下制程,可突破晶體管與塑膠基板因熱漲冷縮易破裂的問題,使軟性基板在制程中維持平坦性及透明度,易于制造高撓曲TFT背板。

  臺灣工研院指出,目前IGZO TFT陣列技術已整合應用于KANEKA軟性塑膠基板,并經雙方驗證,可廣泛應用于軟性主動式有機發光二極管(AMOLED)及OLED照明等領域,可加速實現可彎曲的手機及計算機等產品。

  臺灣工研院表示,與KANEKA在IGZO TFT陣列技術的合作開發成果,已獲選為IDW論文,將受邀于4日研討會中發表。

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