美國應用材料公司2012年10月31日在橫濱召開了新聞發布會,發布了氧化物半導體IGZO(In-Ga-Zn-O)用成膜設備以及支持第8.5代基板的低溫多晶硅(LTPS)用成膜設備的新產品。這些設備能夠降低新一代液晶顯示屏及有機EL顯示屏的制造成本。
為了實現高性能液晶顯示屏和有機EL顯示屏的量產,各廠商開始積極采用LTPS及IGZO等新一代TFT材料。這些新材料與目前主流的非晶硅(a-Si)材料相比,遷移率等性能高,作為提高顯示器的顯示性能、實現低功耗化和低成本化的技術備受期待。尤其在有機EL電視領域,這些新材料有助于大幅延長顯示器的壽命,優點更為顯著。
在發布會上,應用材料首先發布了三種LTPS用CVD裝置,分別是支持第5代基板的“AKT-15KPX”、支持第6代基板的“AKT-25KPX”以及支持第8.5代基板的“AKT-55KPX”。該公司表示,“此前業界一直認為制造支持第8.5代基板的LTPS用CVD裝置極為困難,但我們終于成功推出了全球首款設備”。
應用材料充滿自信地表示,“在LTPS用CVD設備領域,只有我們的產品能夠覆蓋從第4.5代到第8.5代基板”。該公司預測稱,雖然目前仍然存在成本高的問題,但隨著便攜設備的快速普及,LTPS顯示屏也將在世界范圍普及。
隨后,應用材料又發布了已被多家面板廠商采用的IGZO用濺鍍設備“AKT-PiVot IGZO”。該產品的特點是,在圓柱狀靶材旋轉的同時進行掃描,使得原來的平板式設備經常出現的結瘤物明顯減少。此外,該設備還采用了該公司稱之為“魔法產品”的、在轉子內側帶動磁鐵運動的系統,保持了出色的均質性,從而使得此前IGZO顯示屏的一大課題——顯示不均現象大為減少,能夠確保較高的成品率和生產效率。因此,該設備可為降低顯示器的制造成本作出貢獻。
采用IGZO的顯示屏已從2012年開始量產。在“FPD International 2012”(10月31日~11月2日,太平洋橫濱國際會展中心)展示會場內的半導體能源研究所的展區等,也能看到a-Si TFT顯示器與IGZO TFT顯示器的對比展示。
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