藉著中國(guó)大陸半導(dǎo)體和平板顯示市場(chǎng)近幾年的繁榮之勢(shì),海德漢積極投身開拓中國(guó)電子設(shè)備制造和FPD市場(chǎng)。2012年3月20-22日,在上海新國(guó)際博覽中心E1館1213展位,海德漢將帶著旗下針對(duì)半導(dǎo)體與平板顯示生產(chǎn)設(shè)備行業(yè)的最新產(chǎn)品及先進(jìn)技術(shù)亮相SEMICON/FPD China 2012。
在高產(chǎn)量加工過程中能保持持續(xù)的高質(zhì)量和高精度是高效生產(chǎn)的關(guān)鍵。為此,海德漢提供大量具有高質(zhì)量信號(hào)輸出的直線光柵尺和角度編碼器的選擇,確保定位精度準(zhǔn)確。得益于它們面向?qū)嶋H應(yīng)用的機(jī)械結(jié)構(gòu), 實(shí)用性的高精度和可定義的溫度特性,使海德漢光柵尺或和角度編碼器能確保滿足不同測(cè)量任務(wù)和安裝條件要求。
敞開式增量直線光柵尺 LIF 400
精度高和安裝簡(jiǎn)單
應(yīng)用
• 半導(dǎo)體后端生產(chǎn)設(shè)備
• 計(jì)量?jī)x器
特點(diǎn)
• 緊湊型讀數(shù)頭和光柵尺
• PRECIMET背膠固定,安裝簡(jiǎn)單
• 抗污染能力較強(qiáng)
• 限位開關(guān)和回零軌
技術(shù)參數(shù)
• 玻璃基體或Zerodur玻璃陶瓷基體的
SUPRADUR相位光柵
• 信號(hào)周期 4 µm
• 精度等級(jí) ± 3 µm
• 典型位置誤差
單信號(hào)周期內(nèi) ± 0.04 µm
• 測(cè)量長(zhǎng)度 至1 020 mm
• 接口 1 VPP或TTL
敞開式增量直線光柵尺 LIDA 400
用于高速運(yùn)動(dòng)和大測(cè)量范圍
應(yīng)用
• 半導(dǎo)體工業(yè)生產(chǎn)和檢測(cè)設(shè)備
• PCB電路板組裝機(jī)
• 測(cè)量機(jī)
特點(diǎn)
• 運(yùn)動(dòng)速度快
• 測(cè)量長(zhǎng)度大
• 安裝公差大
• 限位開關(guān)
• 多種型號(hào)可供選擇
技術(shù)參數(shù)
• 鋼帶,玻璃或玻璃陶瓷基體的METALLUR光柵
• 信號(hào)周期 20 µm
• 測(cè)量步距 至0.05 µm
• 精度等級(jí) 至± 5 µm
• 典型位置誤差
單信號(hào)周期內(nèi) ± 0.2 µm
• 測(cè)量長(zhǎng)度 至30 m
• 接口 1 VPP或TTL
無內(nèi)置軸承增量式角度編碼器
玻璃圓光柵碼盤/輪轂總成
應(yīng)用
• 計(jì)量?jī)x器
• 高速旋轉(zhuǎn)軸
特點(diǎn)
• 尺寸緊湊
• 高精度
• 信號(hào)誤差補(bǔ)償
技術(shù)參數(shù)
• 玻璃基體的METALLUR光柵尺
• 信號(hào)周期數(shù) 9 000/18 000
• 系統(tǒng)精度 ± 5/± 3 角秒
• 直徑 外徑 71/150 mm
內(nèi)徑 25/95 mm
• 接口 1 VPP或TT
海德漢公司帶有絕對(duì)位置信號(hào)輸出的光柵尺和編碼器在提高生產(chǎn)和加工過程的效率和可靠性方面發(fā)揮著重大作用,幫助用戶在保持質(zhì)量穩(wěn)定的同時(shí)提高產(chǎn)量。高分辨率的特點(diǎn)使這些編碼器能準(zhǔn)確控制速度,因此能提高速度穩(wěn)定性和提高定位特性。
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敞開式絕對(duì)直線光柵尺 LIC 4000
精度高和測(cè)量范圍大
應(yīng)用
• 半導(dǎo)體工業(yè)的測(cè)量和生產(chǎn)設(shè)備
• PCB電路板組裝機(jī)
• 測(cè)量機(jī)
• 直接驅(qū)動(dòng)
特點(diǎn)
• 大測(cè)量范圍的絕對(duì)位置值
• 高分辨率
• 結(jié)構(gòu)緊湊
• 安裝和診斷簡(jiǎn)單
技術(shù)參數(shù)
• 有絕對(duì)刻軌的METALLUR鋼帶
• 分辨率 最小至0.001 µm(1 nm)
• 精度等級(jí) 達(dá)± 5 µm
• 典型位置誤差
單信號(hào)周期內(nèi) ± 0.08 µm
• 測(cè)量長(zhǎng)度 至27 m
• 運(yùn)動(dòng)速度 至8 m/s
• 接口 EnDat 2.2
絕對(duì)式模塊旋轉(zhuǎn)編碼器 ECN 1123/EQN 1135
單圈/多圈版
應(yīng)用
• 伺服電機(jī)反饋系統(tǒng)
• 機(jī)械手應(yīng)用
• 一般自動(dòng)化系統(tǒng)
特點(diǎn)
• 結(jié)構(gòu)緊湊
• 安裝簡(jiǎn)單
• 功能安全
技術(shù)參數(shù)
• 單圈測(cè)量步距數(shù) 8 388 608 (23 bits)
• 分辨率(EQN 1135) 4 096 (12 bits)
• 系統(tǒng)精度 ± 60’’
• 接口 EnDat 2.2
8 MHz時(shí)鐘頻率
• 安全等級(jí) SIL 2,EN 61 508
3級(jí)PL d,
EN ISO 13 849-1:2008
• 供電電壓 DC 3.6至14 V
約翰內(nèi)斯·海德漢博士(中國(guó))有限公司 www.heidenhain.com.cn
SEMECON/FPD 2012 E1館 1213展位 歡迎撥冗蒞臨!
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