在2011國際平板顯示產業高峰論壇（FPD International CHINA 2011/Beijing Summit）第一天下午的技術演講中，V-Technology的執行董事、技術開發負責人兼技術開發部長植木俊博以“面向高精細化時代的最新曝光技術”為題，介紹了可滿足中小尺寸液晶面板高精細化需求的最新曝光裝置。
V-Technology是一家成立于1997年的新興FPD制造裝置廠商，其主要產品是檢查裝置、修復裝置以及曝光裝置。目前已向約80家客戶提供了約1500臺產品。
在曝光裝置方面，V-Technology已在日本、韓國、中國大陸以及臺灣地區面向采用光配向技術的VA式液晶面板供應了13臺曝光裝置。2011年還供應了1臺用于生產3D液晶面板用部材的卷對卷曝光裝置。V-Technology在中國大陸、韓國和臺灣地區的銷售額高于日本國內。
進化無止境的中小尺寸面板高精細化
植木介紹了智能手機和平板PC的發展趨勢。按照數量計算，智能手機和平板PC的供貨量合計已經超過了個人電腦。隨著智能手機和平板PC市場的不斷擴大，顯示器的高精細化也在加速推進。尤其是蘋果公司“iPhone 4”中采用的分辨率為326ppi的“Retina Display”加快了手機面板的高精細化進程。植木表示，“估計今后高精細化將會達到400ppi和500ppi”。在平板PC領域，業內正流傳著“iPad3”將采用基于氧化物半導體TFT和FFS的QXGA（2048×1536像素）液晶面板（264ppi）的傳言，估計2012年以后300ppi產品將得到普及。
40英寸級電視的分辨率只有50～60ppi，1像素的尺寸高達460μｍ。而iPhone 4的Retina Display已將其微細化至77μｍ。植木介紹說，“如果微細化進一步推進，那么設計、工藝和制造裝置等各個方面都需要進行技術改造”。在TFT的制造工藝中，必須將原來3μm的分辨率提高至2μm，重疊精度也必須由原來的±1μm提高至0.8μm和0.6μm。
兼顧低成本化和高精細化的MLA
V-Technology開發的曝光設備的特點是采用了成本競爭力更高的簡單構造，同時還可以實現高精度的曝光工藝。V-Technology的產品采用了在掩模和曝光對象之間以平面狀大量排列名為“MLA（Micro Lens Array，微透鏡陣列）”的微透鏡，然后將其進一步層疊以獲得高分辨率的光學系統。其原理是將作為曝光對象的玻璃基板固定住，利用MLA進行掃描后進一步曝光。MLA由6英寸的石英基板制成，光線通過的開口部為石英制成，遮光的掩模部為Cr制成。透鏡的間距為150μm，開口部的直徑為130μm。在產品中，1m厚的MLA至少層疊4張形成了光學系統。
由于MLA的像差較小，因此無需此前光學系統中不可缺少的像差補償機構。所以，曝光裝置的構造較為簡單。另外，由于MLA的重量較輕，因此可以利用光學系統進行掃描。所以，無需同時移動掩模和曝光對象進行曝光的傳統裝置中的復雜機構。
另外，采用MLA的曝光設備，無需對裝置進行改良，只更換MLA便可提高分辨率。V-Technology為了應對液晶面板的進一步高精細化，“預定在2012年12月供貨2μm精度的MLA”（植木）。
將供應面向IPS和FFS的光配向技術用曝光設備
植木還提到了光配向工藝用曝光裝置，這種光配向工藝可以代替原來為使液晶分子配向而一直使用的研磨工藝。通過研磨工藝使液晶分子配向的液晶面板，在高精細化程度提高后，就會無法避免地在畫面上出現不均和亮點等。使用光配向技術可以消除這種不均，實現清晰的黑色顯示。開口率還可以進一步提高，顯示明亮的影像。
V-Technology已經向采用“AEGIS”定位技術的VA式液晶面板提供了光配向用曝光裝置。AEGIS是一項讀取下層圖案，并將其反饋到曝光頭位置進行補償，由此實現高精度定位的技術。V-Technology今后還預定提供IPS和FFS用裝置。
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