在2011國際平板顯示產業高峰論壇（FPD International CHINA 2011/Beijing Summit）第一天下午的技術演講上，東麗工程電子業務本部TS涂布機業務部的森俊裕以“G10狹縫涂布機技術”為題，介紹了大尺寸液晶面板彩色濾光片生產工序中采用的光刻膠涂布裝置的最新動向。
狹縫噴嘴涂布機在大尺寸面板的生產中不可缺少
東麗工程的涂布裝置被稱作狹縫噴嘴涂布機，采用了不同于原來液晶面板生產中使用的旋轉涂布機的自主方式。這種狹縫噴嘴涂布機主要具有兩大特點。一是可進行高精度涂布?？稍诓ＡЩ迳?，將膜厚的不均控制在±0.1％以內進行涂布。另一個是高速。第8.5代玻璃基板的光刻膠涂布所需時間在涂布速度為250mm/秒時只需28秒。在彩色濾光片的生產工藝中，RGB和黑色矩陣最少需要進行4次光刻膠涂布。涂布時間的縮短直接關系到液晶面板生產效率的提高。
東麗工程的產品截至2011年7月已供貨430臺，其中面向韓國和臺灣的供貨量最多。面向中國大陸的供貨量也在穩步增長。從不同世代來看，支持第6代以后大尺寸玻璃基板的產品獲得了較高份額，其中第7代和第8.5代占70％以上。
通過重新設計驅動系統支持第10代玻璃基板
玻璃基板的大尺寸化已經進入第10代。為了在第10代中應用狹縫噴嘴涂布機，“必須在高精度維持噴嘴與玻璃基板之間的間隔的同時，高速移動帶有較重驅動系統的噴嘴。另外，需要在同步上述動作的同時，從泵中穩定供給光刻膠”（森）。
為了穩定噴射光刻膠，新系統將原來的Tube Phragm式泵更換為了該公司自主方式的“CSP(Convolution Syringe Pump)”泵。Tube Phragm式泵存在開始噴射和結束噴射時的吐出量不穩定的缺點。這意味著玻璃基板邊緣部分難以控制膜厚。而CSP在高精度上下移動活塞的同時噴射光刻膠，由此穩定了噴射量。
東麗工程過去不支持第10代玻璃基板的原狹縫噴嘴涂布機采用的是使泵的活塞移動與驅動系統和噴射的光刻膠相互對稱的構造。這種構造的重量均衡性較差，很難用于大尺寸玻璃基板。而用于第10代玻璃基板的裝置采用將驅動系統、光刻膠和活塞配置于同一軸上的構造“DBD(Direct Ball screw Drive)”，這樣可去掉驅動時的力矩，能夠實現高速穩定的工作狀態。通過采用DBD，在相同的噴射速度下，壓力變化降低到了原構造裝置的1/3以下。
另外，原來的裝置為了易于維護，采用了使支架（Gantry）懸垂于狹縫噴嘴升降軸的構造。而支持第10代玻璃基板的裝置采用了使其在狹縫噴嘴升降軸兩側對稱的構造，另外還開發出了低重心高合成的支架，從而提高了運行的穩定性。由此，將加速時產生的振動停止時間縮短了40％還要多。
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