国产成人lu在线视频-国产成人v片视频在线观看-国产成人v视频在线观看-国产成人v爽在线免播放观看-国产成人www

　　美國應用材料（AMAT）宣布投產新型RTP（Rapid Thermal Processing）裝置“Vulcan”。這款裝置主要面向28nm以后的工藝，采用從晶圓背面進行加熱的方式，提高了加熱時的溫度均勻性。

　　隨著微細化的發展，晶體管對工藝溫度依賴性越來越高。也就是說，RTP的溫度不均會直接導致晶體管的性能不均。為了解決這個問題，應用材料開發出了面向28nm以后工藝的新型RTP裝置。原來的裝置從晶圓表面照射用于加熱的燈光，而此次的裝置則改為從背面照射。由此，可以抑制因晶圓表面的圖案形狀等而產生的溫度不均。另外，還配備了可在室溫到1300℃的范圍內，通過閉環（Closed Loop）實現動態溫度控制的機構。

　　據應用材料介紹，此次的RTP裝置在通過蜂窩燈陣列（Honeycomb Lamp Array）以200度/秒的速度對晶圓進行加熱時，可將芯片內的溫度均勻性控制在3℃以內。另外，從晶圓表面進行加熱的傳統方式，在改變芯片制造種類時，需要根據芯片對RTP的工藝處方進行改變和優化，而此次的方式則省去了這個步驟?？梢哉f，這個優點在制造品種繁多的硅代工等領域尤其有用。