3 月 8 日消息，由于俄烏沖突，氖氣價格自 2022 年以來一路飆升，2021 年韓國進口價格為 58 美元 / 升，而 2022 年飆升至 1612 美元 / 升。最新消息稱三星現(xiàn)在計劃在芯片生產(chǎn)中使用回收的氖氣。
根據(jù) The Korea Economic Daily 報道，三星正考慮從明年開始，在芯片生產(chǎn)中使用回收的氖氣，這也讓其成為業(yè)內(nèi)首家在光刻工藝中使用回收氖氣的公司。
報道進一步指出，三星電子已與當?shù)匾患也牧瞎韭?lián)手開發(fā)相關裝置，用于從激光廢料流中捕捉氖氣，并通過提純等方式回收氖氣。
三星計劃明年開始在光刻過程中使用回收氖氣，占比 75%。
根據(jù)韓國海關總署的數(shù)據(jù)，2023 年韓國氖氣進口總量將達到 102782 升，進口額達到 1680 萬美元（約 1.21 億元人民幣）。
氖氣是一種稀有的惰性氣體，也是光刻工藝中不可或缺的原材料。它用于產(chǎn)生激光，將電路圖案轉移到基板上，同時也廣泛應用于半導體以及顯示器等其他行業(yè)。
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