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　　01 演講嘉賓介紹

　　王序進(jìn)院士在海內(nèi)外長(zhǎng)期從事微納加工、芯片制造核心工藝和設(shè)備的研發(fā)，是該領(lǐng)域的世界級(jí)頂尖專家。在齒輪精密加工領(lǐng)域研發(fā)成功了高效經(jīng)濟(jì)成型磨齒工藝，獲得中國首屆青年科技獎(jiǎng)。研發(fā)的LED藍(lán)寶石墊底超精密加工技術(shù)為世界首次實(shí)現(xiàn)LED量產(chǎn)做出了重大貢獻(xiàn)。在半導(dǎo)體制程領(lǐng)域研發(fā)成功了用于低k絕緣層平坦化的全世界最低壓CMP制程工藝和設(shè)備，這一成果得到國際CMP業(yè)界高度評(píng)價(jià)，并獲得日本精密工學(xué)會(huì)技術(shù)獎(jiǎng)。世界上首次研發(fā)成功了帶型單層硬質(zhì)CMP研磨墊工藝并實(shí)現(xiàn)SoC半導(dǎo)體芯片CMP制程量產(chǎn)。研發(fā)成功了新型3層構(gòu)造CMP研磨墊，實(shí)現(xiàn)世界上最高的平坦度和均勻性的綜合CMP性能，并實(shí)現(xiàn)DRAM半導(dǎo)體存儲(chǔ)器芯片CMP制程量產(chǎn)。研發(fā)成功了浸潤式光刻機(jī)投影鏡頭在線檢測(cè)用新型光學(xué)微納器件，實(shí)現(xiàn)高端半導(dǎo)體芯片浸潤式光刻制程穩(wěn)定量產(chǎn)。在先進(jìn)影像技術(shù)領(lǐng)域，研發(fā)成功了世界最高性能的在單個(gè)圖像傳感器上同時(shí)實(shí)現(xiàn)RGB可視光和NIR近紅外線成像的多光譜照相機(jī)。王序進(jìn)院士在日本、美國、中國、中國臺(tái)灣、韓國獲數(shù)十項(xiàng)授權(quán)發(fā)明專利。

　　02 論壇議程