2021年,晶洲裝備迎來新的家園,站在新的高度,踏上了新的征程。新廠竣工伊始,晶洲接獲某大客戶大尺寸顯示基地示范工廠G8.5刻蝕設(shè)備訂單,歷時130余天,G8.5刻蝕設(shè)備較之標準生產(chǎn)周期提前50天超前完成生產(chǎn),順利下線。
濕法刻蝕設(shè)備主要應(yīng)用于平板顯示制程的陣列(Array)段,其原理是利用化學(xué)的方法對經(jīng)過曝光與顯影后的基板表面金屬膜層進行均勻刻蝕,進而形成光刻定義的電路圖,是圖形化工藝的關(guān)鍵制程,一向由進口設(shè)備商壟斷,國內(nèi)廠商少有涉及。
2020年,晶洲裝備G8.5大世代設(shè)備技術(shù)突破顯影、刻蝕、剝膜等一系列主工藝設(shè)備形成批量訂單,并陸續(xù)交付,全面覆蓋了ITO、IGZO、Ag、Mo、Al、Cu等各種膜材的刻蝕工藝。
來源: 晶洲裝備
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