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上海天馬微電子有限公司工程師樓均輝

　　在2016中國平板顯示學(xué)術(shù)大會的TFT器件及相關(guān)技術(shù)分論壇上，上海天馬微電子有限公司工程師樓均輝帶來題為《金屬氧化物TFT閾值對LCD顯示屏的可靠性的影響》的主題演講，以下為演講文字實錄：

　　天馬從2012年開始正式研發(fā)氧化物TFT，一開始的時候，應(yīng)該說還很順利，第一年我們就把TFT推行做得還可以，顯示的樣品也做出來了，但是我們差不多花了兩到三年時間，才把TFT特性基本管控住了。換句話在這過程中我們也走了很多彎路，我們花了兩到三年時間以后把TFT特性控制住，也花了一年的時間才把TFT特性調(diào)整到需要驅(qū)動一級顯示的要求范圍里了。下面跟大家分享一下我們碰到的問題。

　　TFT主要的指標性能參數(shù)包括閾值、牽引率、開關(guān)比，對氧化物來說閾值是更重要的，因為它受到自身的影響，可能它的閾值經(jīng)常會發(fā)生變化，或者說出現(xiàn)異常。

　　這是我們采用氧化物TFT結(jié)構(gòu)，這個結(jié)構(gòu)是大家比較常見的。因為大家也知道對于顯示屏來說，對窄邊框的要求是越來越高，邊框的顯示屏就必須采用集成電路，整個驅(qū)動電路里，輸出管是T4，所以T4是最大的管子，也是最重要的TFT。

　　剛才說到氧化物TFT它很多因素受到自身和結(jié)構(gòu)的影響，反過頭來說我們也很容易通過自身和結(jié)構(gòu)來實現(xiàn)它不同的特性，這張圖里面我們采用三種不同的工藝制成，從而實現(xiàn)了它不同的TFT的閾值，我們用ABC來表示，A這個圖是最負的，B會正一點，C就更正。我們把這三種管子用到顯示屏里面就會收到不同的效果，A這種特性制作出來的顯示屏，我們發(fā)現(xiàn)它會出現(xiàn)異常，這個異常就表現(xiàn)為由橫紋和動脈沖，如果我們側(cè)來它的三個輸出端可以看出，A就是異常的多脈沖。B是正常工作的，假如把顯示屏放到85度下面，也出現(xiàn)類似A的異常，它的異常也是出現(xiàn)橫紋，我們測量數(shù)值也會發(fā)現(xiàn)多脈沖。C的濕溫和橫溫都是正常的。B和C濕溫下是能夠正常工作的，但B是在不同溫度下的特性曲線，溫度升高的時候，它會發(fā)生顯著的負向。在常溫下都是能正常工作的TFTC都是能正常工作的，高溫下氧化物TFTC的負偏壓穩(wěn)定性曲線是沒有受到光照的影響，就是因為負值更正一些。

　　總結(jié)來說，對于VSR電路行驅(qū)動的窄邊框氧化物驅(qū)動的LCD顯示，閾值必須調(diào)整多足夠正才能保證VSR電路的正常工作，否則容易出現(xiàn)異常多脈沖輸入不良，同時需提高氧化物在高溫下光照的負偏壓穩(wěn)定性，以提高顯示屏的可靠性。