全球領(lǐng)先的真空和尾氣處理設(shè)備和服務(wù)供應(yīng)商Edwards宣布，該公司在中國贏得迄今為止最大的銷售訂單。該訂單來自先進(jìn)平板顯示器制造商，價(jià)值為1200萬英鎊（1900萬美元），為整個(gè)制造廠提供定制式整體尾氣處理解決方案。系統(tǒng)將用于等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積（PECVD）和干式刻蝕制造工藝以處理工藝尾氣及廢液。
“我們的整體尾氣處理解決方案已經(jīng)得到優(yōu)化，以確保工藝尾氣及其副產(chǎn)物的處理過程最大程度地減少健康與安全風(fēng)險(xiǎn)并符合環(huán)境法規(guī)，同時(shí)易于安裝，”Edwards 中國公司總經(jīng)理許堅(jiān)說，“這些系統(tǒng)也有助于減少制造廠的運(yùn)營成本、能耗和碳足跡。由此產(chǎn)生的低擁有成本使制造商可以有效地管理財(cái)務(wù)業(yè)績，同時(shí)十分環(huán)保。”
最新整體系統(tǒng)訂單包括Spectra Z 和Atlas TPU尾氣處理系統(tǒng)。平板顯示器制造涉及大量硅烷，硅烷容易起火，而且每升產(chǎn)生2.68克左右二氧化硅粉末（滿負(fù)荷生產(chǎn)的平板顯示器制造廠每天可生產(chǎn)高達(dá)200公斤粉末）。這些粉末容易堵塞尾氣管，降低系統(tǒng)性能，而且需要維護(hù)。Spectra Z已經(jīng)經(jīng)過優(yōu)化以處理高流量硅烷，從而提高制造廠安全性，增長系統(tǒng)正常運(yùn)行時(shí)間。
Atlas TPU 無明火的內(nèi)燃式燃燒系統(tǒng)，在處理平板顯示器制造中另一種常用氣體NF3的過程中不會(huì)產(chǎn)生全球溫室氣體。Atlas TPU是一種經(jīng)過現(xiàn)場驗(yàn)證的可防止PFCs 和 NOx形成的高效解決方案。
“人們普遍認(rèn)為2010年將是經(jīng)濟(jì)復(fù)蘇的一年，尤其是中國正處于高速發(fā)展時(shí)期，” Edwards亞太區(qū)總裁Neil Lavender-Jones說，“這一重大銷售訂單體現(xiàn)了Edwards在亞洲的擴(kuò)張。
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