平板顯示在生產過程中有許多薄膜制�，而鍍膜用的原材料——靶材就顯得非常重�。作為國內第一個專業生產靶材的公司，歐萊集團周紀平博士在第十屆中國國際顯示大會做�“TFT靶材的生產和綁定技�”主題演講
歐萊集團周紀平博�
周紀平首先談到高層鉬靶的生產。據介紹，鉬是一種灰色的過渡金屬，屬于難熔金�。鉬因具有優良的導電�、熱穩定性，且其熱脹系數與鍍膜玻璃接�，在平板顯示（FDP）領域被用作基電極涂�。在電子行業�，鉬濺射靶材主要用于平面顯示�、薄膜太陽能電池的電極和配線材料以及半導體的阻擋層材�。這些是基于鉬的高熔點、高電導�、較低的比阻�、較好的耐腐蝕性以及良好的環保性能。以前平面顯示器的配線材料主要是鉻，但隨著平面顯示器的大型化和高精度�，越來越需要比阻抗小的材料，可使液晶顯示器在亮�、對比度、色彩以及壽命方面的性能大大提升。另�，環保也是必須考慮的問題。而鉬具有比阻抗和膜應力僅為鉻�1 /2的優�，而且不存在環境污染問題，因此成為了平面顯示器濺射靶材的首選材料之一�
對于靶材的質量要�，周紀平介��“靶材的化學要求是高純�，因為純度如果不高的�，鍍出來的膜會由于各種雜質的存在影響薄膜的性能。行業認為高純度鉬靶至少�99.95%，甚至更�。靶材除了化學純度的要求以外，還有致密度的要�，如果致密度不好的話，由于內部孔隙的存在，會造成微粒飛濺。這是靶材致密度高的腐蝕以后輪廓比較明�，而如果靶材致密度不好，腐蝕以后輪廓就比較模糊�”
他也介紹，濺射鍍膜的過程�，致密度較小的濺射靶受轟擊時，由于靶材內部孔隙內存在的氣體突然釋�，造成大尺寸的靶材顆粒或微粒飛濺，或成膜之后膜材受二次電子轟擊造成微粒飛濺。這些微粒的出現會降低薄膜品質。為了減少靶材固體中的氣孔，提高薄膜性能，一般要求濺射靶材具有較高的致密�。對鉬濺射靶材而言，其相對密度應該�98%以上。而鋁靶也存在質量要求，包括化學純�、致密度、尺寸公差等方面的數據要��
周紀平介�，綁定是釬焊劑將靶材和背板或背管連接起來，這是靶材綁定的質量要��“歐萊靶材至今為止已經有十幾年的歷史，是國內第一家專業生產靶材的公司。經過最近四年的艱苦努力�8代液晶面板用大型靶材成功下線。近幾年歐萊靶材投資購買了很多用于提高生產能力和質量的各種設�，包括萬噸冷等靜壓機、超高溫燒結爐、真空中頻熔煉爐、空氣錘、熱軋機、大型真空熱處理爐等�
對于歐萊未來發展定位，周紀平介紹，“歐萊現正在致力于各種TFT行業用靶材的制造國產化工作。提高靶材產品質�、降低用戶的靶材使用成本永遠是我們的責任�”
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