市民生活中離不開(kāi)的手機(jī)上，都有一塊小小的集成電路芯片。芯片上面各種各樣的紋路，就是由刻蝕機(jī)刻出來(lái)的。記者日前從北京電控了解到，由其下屬企業(yè)北方微電子公司自主研發(fā)的12英寸28納米等離子硅刻蝕機(jī)，已經(jīng)全面通過(guò)工藝驗(yàn)證。我國(guó)集成電路高端裝備進(jìn)一步加快了追趕國(guó)際水平的腳步，技術(shù)水平已經(jīng)從2003年的“20年差距”縮短到“只差3年”。
28納米，相當(dāng)于人體一根頭發(fā)的萬(wàn)分之一粗細(xì)。生產(chǎn)一塊手機(jī)使用的電子芯片，一般需要18種機(jī)器設(shè)備、累計(jì)400多道工序，而刻蝕機(jī)就是其中的重要設(shè)備之一。
去年年末，北方微電子公司自主研發(fā)的這款12英寸28納米等離子硅刻蝕機(jī)，全面通過(guò)中芯國(guó)際生產(chǎn)線全流程工藝驗(yàn)證，并獲得客戶訂單，標(biāo)志著中國(guó)集成電路高端裝備國(guó)產(chǎn)化取得新的突破。
在北方微電子公司突破28納米刻蝕技術(shù)前，國(guó)際上也僅美國(guó)和日本各有一家企業(yè)能夠提供滿足28納米生產(chǎn)線的成熟設(shè)備。長(zhǎng)期以來(lái)，高端刻蝕設(shè)備一直是制約我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的瓶頸，因此，北方微電子將28納米硅刻蝕設(shè)備推向市場(chǎng)，標(biāo)志著我國(guó)在高端集成電路裝備領(lǐng)域，第一次實(shí)現(xiàn)與主流生產(chǎn)線的需求同步。
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