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　　為滿足全球市場(chǎng)對(duì)高效率、低成本太陽(yáng)能電池激增的需求， 全球著名的高科技設(shè)備制造商Manz亞智科技推出了轉(zhuǎn)換效率高達(dá)20.5%的業(yè)界領(lǐng)先的晶硅(cSi)太陽(yáng)能電池生產(chǎn)解決方案。憑借此先進(jìn)生產(chǎn)解決方案，Manz成功優(yōu)化了晶硅太陽(yáng)能電池的生產(chǎn)技術(shù)，并進(jìn)一步提升其作為專業(yè)技術(shù)提供商的行業(yè)領(lǐng)導(dǎo)地位。Manz將攜其先進(jìn)cSi生產(chǎn)解決方案參加2014年5月20至22日于上海舉辦的SNEC第八屆國(guó)際太陽(yáng)能產(chǎn)業(yè)及光伏工程展覽會(huì) (SNEC PV POWER EXPO)。

　　Manz新一代生產(chǎn)工藝采用VCS 1200電漿輔助化學(xué)氣相沉積(PECVD)垂直式真空鍍膜系統(tǒng)在電池背面沉積氧化鋁鈍化層，結(jié)合Manz LAS 2400激光開孔技術(shù)，可幫助電池生產(chǎn)企業(yè)在實(shí)現(xiàn)高效晶硅太陽(yáng)能電池規(guī)模化生產(chǎn)的同時(shí)將擁有成本降至最低。與市場(chǎng)同類系統(tǒng)相比，Manz易于維護(hù)的全自動(dòng)化設(shè)備體積更小、效率更高，適用于單晶硅和多晶硅太陽(yáng)能電池生產(chǎn)。Manz可為客戶同時(shí)提供必要的生產(chǎn)設(shè)備和工藝技術(shù)，幫助其升級(jí)標(biāo)準(zhǔn)電池生產(chǎn)線來(lái)生產(chǎn)更高效的PERC電池。

　　Manz VCS 1200系統(tǒng)采用全新的垂直式工藝技術(shù),產(chǎn)量高達(dá)每小時(shí)1,200個(gè)硅片。由于配備高效能電漿和新式載具系統(tǒng)，該鍍膜工藝不會(huì)在硅片上留下任何針印或未鍍區(qū)，而這一技術(shù)優(yōu)勢(shì)正是其他許多同類廠商的系統(tǒng)所不具備的。此外，VCS 1200系統(tǒng)使得PECVD層可以實(shí)現(xiàn)單面沉積，而不會(huì)出現(xiàn)另一面也有邊緣沉積的情況。Manz的高性能PECVD工藝技術(shù)保障了最佳的加工再現(xiàn)性，以及業(yè)界最高的太陽(yáng)能電池效率和均勻性。由于該系統(tǒng)的快速清洗理念能讓電池制造商在系統(tǒng)外部清洗工藝區(qū)和載具，實(shí)現(xiàn)了停機(jī)時(shí)間最小化。與其他廠商提供系統(tǒng)不同的是，僅需 VCS 1200單一系統(tǒng)就可沉積介電質(zhì)鈍化層。該系統(tǒng)不僅極易維護(hù)，還可輕松整合至現(xiàn)有電池生產(chǎn)線中，在正面、背面鍍膜以及載具清洗等方面均實(shí)現(xiàn)了業(yè)界最低的擁有成本。

　　與VCS 1200系統(tǒng)一起推出的還有Manz LAS 2400激光開孔系統(tǒng)。該系統(tǒng)可用于背面鈍化層的局部電極開孔，是一款操作簡(jiǎn)單、高精度、高產(chǎn)出的解決方案。Manz激光開孔技術(shù)為一站式工藝，不僅在這一電池生產(chǎn)流程保證了最低擁有成本，還實(shí)現(xiàn)了硅片的安全處理，將破片率降至業(yè)界最低。LAS 2400系統(tǒng)采用模塊化、小體積設(shè)計(jì)，非常適宜現(xiàn)有生產(chǎn)線的升級(jí)。該系統(tǒng)每小時(shí)總產(chǎn)量為2,400個(gè)硅片，開孔寬度為30至100 μm。Manz晶硅太陽(yáng)能電池生產(chǎn)解決方案結(jié)合了VCS1200及LAS2400的所有優(yōu)勢(shì)，將能提升PERC太陽(yáng)能電池效率至20.5%!

　　此外，Manz還提供了業(yè)界領(lǐng)先的濕化學(xué)處理工具IPSG CEI 4800，可與VCS 1200和LAS 2400生產(chǎn)工具配備形成一套完善的技術(shù)解決方案。IPSG CEI 4800主要用于去除硅片背面及邊緣的重?fù)诫s層，從而形成化學(xué)除邊(CEI)。并在接下來(lái)的流程中，去除在之前擴(kuò)散過(guò)程中殘留在硅片正面的磷硅玻璃(PSG)層。由于應(yīng)用了柔軟的海綿輥和最小化基板壓力的概念，IPSG CEI 4800可實(shí)現(xiàn)最低破片率。

　　Manz 集團(tuán)首席執(zhí)行官兼創(chuàng)始人Dieter Manz表示：“中國(guó)是目前世界最大的太陽(yáng)能電池生產(chǎn)國(guó)，同時(shí)也是最大的消費(fèi)市場(chǎng)之一。Manz很榮幸能參與其中，親歷中國(guó)太陽(yáng)能產(chǎn)業(yè)成就輝煌。我們?cè)谔?yáng)能產(chǎn)業(yè)擁有25年的豐富經(jīng)驗(yàn)，全球主要電池生產(chǎn)企業(yè)基本上都是我們的客戶。在激情成就高效能的公司理念指引下，我們一直通過(guò)不斷創(chuàng)新來(lái)保持領(lǐng)先于競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手的市場(chǎng)地位，而PV SNEC 2014給了我們一個(gè)展示Manz最新技術(shù)的理想平臺(tái)。”

　　“Manz一直致力于深耕中國(guó)市場(chǎng)，為我們?cè)谥袊?guó)市場(chǎng)日益增長(zhǎng)的客戶群提供一流技術(shù)和服務(wù)。2012年，我們?cè)谔K州建的20,000平方米生產(chǎn)基地正式投入使用。Manz在亞洲現(xiàn)擁有約900名員工，其中幾乎半數(shù)為公司自聘員工。未來(lái)我們將繼續(xù)加大在中國(guó)市場(chǎng)的投資，與我們當(dāng)?shù)貥I(yè)務(wù)伙伴一起合作共同提升其太陽(yáng)能電池生產(chǎn)線的質(zhì)量和成本效益。”

　　在光伏產(chǎn)業(yè)，Manz專注于晶硅太陽(yáng)能電池和薄膜太陽(yáng)能模塊的生產(chǎn)工藝和解決方案。在晶硅領(lǐng)域，Manz可提供金屬化、激光加工、濕化學(xué)處理以及真空鍍膜相關(guān)的生產(chǎn)工藝和設(shè)備，同時(shí)還可提供自動(dòng)化解決方案以及測(cè)試與檢驗(yàn)方面的專業(yè)知識(shí)。

　　圖1. VCS 1200電漿輔助化學(xué)氣相沉積(PECVD)垂直式真空鍍膜系統(tǒng)可用于在電池背面沉積氧化鋁鈍化層

　　圖2. Manz LAS 2400激光開孔系統(tǒng)可用于背面鈍化層的局部電極開孔，是一款操作簡(jiǎn)單、高精度、高產(chǎn)出的解決方案