隨著信息及電子發(fā)展的速度使得觸控式顯示面板的�(yīng)用越�(lái)越普�，目前觸控式面板在全球已�(kāi)始自成一�(xiàng)�(chǎn)�(yè)，作為一�(xiàng)先�(jìn)的計(jì)算機(jī)輸入�(shè)�，它是目前最�(jiǎn)�、方�、自然的而且又適用于多媒體信息查詢裝備，觸控面板具有�(jiān)固耐用、反�(yīng)速度快、節(jié)省空間、易于交流等許多�(yōu)�(diǎn)。依目前觸控式面板的工作原理和傳輸信息的介質(zhì)，可將其分為：電阻式、電容式、紅外線式及表面聲波式，其中以電阻式觸控面板為市�(chǎng)主流，其市場(chǎng)�(guī)模約占整體觸控面板市�(chǎng)�59%，電容式為次之，約占22%。而電阻式與電容式的觸控面板皆需要有透明�(dǎo)電膜層（TCO）來(lái)�(chǎn)生觸控動(dòng)作的電場(chǎng)感應(yīng)，大部份的透明�(dǎo)電膜材料以氧化銦錫（ITO）為��
ITO是所有透明�(dǎo)電膜（TCO）中，其�(dǎo)電性與透光率表�(xiàn)最為優(yōu)良的氧化�，而應(yīng)用在觸控面板的透明�(dǎo)電膜層除了需具備高穿透以及良好的電阻�，另外需要均勻的電阻分布以偵�(cè)精準(zhǔn)的觸控位置，以及可長(zhǎng)期使用的高穩(wěn)定電性，以因�(yīng)觸控面板的廣泛應(yīng)�，其中以航天軍用、工�(yè)與車(chē)用等�(yīng)用端的環(huán)境測(cè)試標(biāo)�(zhǔn)更是比信息產(chǎn)�(yè)所使用的面板來(lái)得嚴(yán)格許�，所以ITO薄膜的環(huán)境測(cè)試能力是此應(yīng)用上重要的考量因素。應(yīng)用在觸控面板的ITO的面電阻較高（常�(jiàn)的面阻抗�300~1000），為了�(dá)到要求的高面電阻，透明�(dǎo)電膜的膜厚需要變得很�，超薄的膜厚�(huì)�(chǎn)生許多問(wèn)�，包括電性的不穩(wěn)�、面阻抗的不均勻、環(huán)境測(cè)試能力變差�
本論文即要探討ITO膜厚�(duì)于這些特性的相對(duì)�(guān)系，并考量面電�、穿透率、環(huán)境測(cè)試與生產(chǎn)成本，以�(píng)估最佳的ITO薄膜厚度，并且透過(guò)�(yōu)化DC磁控濺鍍的制程參�(shù)以符合觸控面板的透明�(dǎo)電膜之要求，此乃本論文研究方��
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