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　　德國慕尼黑，2012 年 12 月 13 日訊 – 林德集團(tuán)旗下負(fù)責(zé)全球電子業(yè)務(wù)的林德電子通過了韓國顯示器行業(yè)協(xié)會(huì)(KDIA)的權(quán)威認(rèn)證，在中國新興的顯示器行業(yè)中進(jìn)一步鞏固了其技術(shù)領(lǐng)先地位。現(xiàn)場(chǎng)產(chǎn)氟技術(shù)已被成功認(rèn)定為可替代具有較高全球變暖潛值(GWP)的六氟化硫 (SF6)，該技術(shù)目前應(yīng)用于TFT-LCD面板的干式蝕刻工藝。

　　林德集團(tuán)是向中國平板顯示器行業(yè)提供大宗氣體和電子特氣的主要供應(yīng)商。林德集團(tuán)的兩家合資公司聯(lián)華林德和廣鋼林德已與中國三大顯示器制造商 – 京東方、三星電子和華星光電簽訂了大宗氣體供應(yīng)合同，為這些公司的 8.5 代液晶面板廠供應(yīng)大宗氣體，以提高 TFT-LCD制造流程的成本效益和環(huán)境效率。林德在上述三個(gè)項(xiàng)目上的投資總額約 1 億歐元。

　　相比于全球變暖潛值較高的氟化氣體，如三氟化氮(NF3)，現(xiàn)場(chǎng)氟氣(F2)在顯示器內(nèi)腔清潔上的應(yīng)用已逐漸凸顯其效益。一家該協(xié)會(huì)成員公司率先在廠內(nèi)進(jìn)行實(shí)驗(yàn)，以驗(yàn)證林德的現(xiàn)場(chǎng)氟氣能否在干式蝕刻應(yīng)用中直接替代SF6，實(shí)驗(yàn)結(jié)果驗(yàn)證了以下幾大環(huán)保和性能優(yōu)勢(shì)：

　　• 消除溫室氣體（SF6 的全球變暖潛值比二氧化碳 (CO2) 大 23,900 倍）。

　　• 加快蝕刻速率，降低工藝能耗。

　　• 簡(jiǎn)化廢氣處理工藝

　　4.5 代面板（尺寸為 730 x 920mm）的評(píng)估結(jié)果顯示，將氟氣應(yīng)用于二氧化硅膜和氮化硅膜中，蝕刻速率和蝕刻均勻性方面均有顯著改進(jìn)，同時(shí)保持了相同特征的錐角。

　　韓國顯示器行業(yè)協(xié)會(huì)的多個(gè)項(xiàng)目力求改善顯示器制造的環(huán)境影響，特別強(qiáng)調(diào)要減少使用SF6。“這些實(shí)驗(yàn)首次證明了氟氣可用于替代SF6，事實(shí)上其性能更好，”KDIA 研發(fā)策劃團(tuán)隊(duì)經(jīng)理 Hyun Jin Kim 表示。這些積極的結(jié)果得到驗(yàn)證后，KDIA 目前計(jì)劃對(duì)F2進(jìn)行評(píng)估，準(zhǔn)備將其作為SF6的替代品應(yīng)用于更大尺寸的面板中。

　　林德多年來一直支持現(xiàn)場(chǎng)制氟的發(fā)展，最近又對(duì)韓國仁州的氟氣制造工廠進(jìn)行二次擴(kuò)建，以滿足中國乃至亞洲不斷增長(zhǎng)的訂單需求。 

　　聯(lián)華林德和廣鋼林德可隨時(shí)為中國新興顯示器行業(yè)的客戶效勞，致力于安全的林德專利現(xiàn)場(chǎng)氟氣生產(chǎn)設(shè)備，以生產(chǎn)效率更高、更節(jié)能和更環(huán)保的氟氣替代電子制造業(yè)蝕刻和清潔工藝中具有高全球變暖潛值的氣體（如 NF3 和SF6）。

　　林德集團(tuán)氟產(chǎn)品業(yè)務(wù)總監(jiān)Carl Jackson強(qiáng)調(diào)：“我們非常榮幸林德的現(xiàn)場(chǎng)制氟技術(shù)通過了KDIA的權(quán)威認(rèn)證。這進(jìn)一步肯定了我們致力于降低顯示器制造的環(huán)境影響、幫助中國制造商改善他們的工藝性能的承諾。”

　　關(guān)于林德集團(tuán)

　　林德集團(tuán)是全球領(lǐng)先的工業(yè)氣體和工程服務(wù)供應(yīng)商，在全球超過100個(gè)國家擁有約62,000名員工。集團(tuán)2011年銷售額達(dá)137.87億歐元。集團(tuán)的發(fā)展宗旨是追求長(zhǎng)期盈利增長(zhǎng)，并利用前瞻性的產(chǎn)品和服務(wù)集中擴(kuò)展國際業(yè)務(wù)。在全球的每個(gè)業(yè)務(wù)領(lǐng)域和業(yè)務(wù)區(qū)域，林德集團(tuán)都一直努力對(duì)股東、商業(yè)合作伙伴、員工、社會(huì)和環(huán)境負(fù)責(zé)。集團(tuán)致力于提供能夠滿足客戶價(jià)值、同時(shí)有助于實(shí)現(xiàn)可持續(xù)發(fā)展的技術(shù)和產(chǎn)品。

　　欲了解更多關(guān)于林德集團(tuán)的信息，請(qǐng)?jiān)L問：www.linde.com 或 www.linde-gas.com/electronics

　　關(guān)于聯(lián)華林德（LLH）

　　聯(lián)華林德是林德集團(tuán)和臺(tái)灣聯(lián)華神通集團(tuán)在中國內(nèi)地成立的合資企業(yè)，致力于為半導(dǎo)體、薄膜晶體管液晶顯示器、光伏發(fā)電和發(fā)光二極管行業(yè)提供超高純度氣體和各類工程服務(wù)。聯(lián)華林德通過本地設(shè)施以及國際領(lǐng)先的氣體和化學(xué)品供應(yīng)技術(shù)，為中國客戶提供優(yōu)質(zhì)服務(wù)。

　　關(guān)于KDIA

　　韓國顯示器行業(yè)協(xié)會(huì)旨在推進(jìn)和強(qiáng)化顯示器和相關(guān)行業(yè)的發(fā)展，并最大限度地提高成員公司的研發(fā)效率。